德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M：抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵。HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。动平衡装置会进行自动校准，Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其极高的性价比。
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M产品优点：
1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装;2.集成控制器;3.清洁无油;4.高气体流量;5.低震动及低磁场干扰6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿;7.转速范围大.
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M技术参数：
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分子泵型号
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分子泵连接尺寸 DN
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抽速 l/s
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压缩比
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最高启动压强hPa
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极限压力
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全转速气体流量hPa l/s
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启动时间
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重量
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进气口
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排气口
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氮气
N2
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氦气He
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氢气 H2
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氮气
N2
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氮气N2
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hPa
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氮气N2
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min
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kg
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HiPace 300 M
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100
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16
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255
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215
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170
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> 1X1011
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20
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< 1X10–7
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28
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2
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13.1 – 17.2
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ATH 500 M
ATH 500 MT
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160
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25
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550
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390
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190
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> 2X107
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2.6
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< 1X10–8
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67
|
2
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17 – 18
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HiPace 700 M
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160
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25
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685
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600
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480
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> 1X101
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8
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< 1X10–7
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13
|
4
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15.7 – 20.8
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HiPace 800 M
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200
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25
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790
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625
|
500
|
> 1X101
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8
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< 1X10–7
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13
|
4
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17.1 – 21.5
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