背压法检漏

 背压法检漏是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法，多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏技术中。其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步骤。

             图1：背压法检漏充气装置

           图2：普发氦质谱检漏仪