离子源对接装置

简介：客户某研究机构，用于离子实验，离子源腔体和靶腔体全部采用金属密封，空载真空小于9x10-5Pa；常开腔体部分采用金属密封，空载真空小于9x10-4Pa腔体底部打定位孔；腔体外表面机械抛光，内表面电化学抛光；离子源腔体尺寸500*300*200；靶腔体尺寸900*200*200；常开腔体为CF100异形四通。离子源能通过一维推杆，从常开腔体推送到离子源腔体，相对位置自动对接，电极自动对接，实验时，推杆需退出离子源腔体（不包括离子源），完成试验后将离子源从离子源腔体取出。