 
简介：客户某研究机构，该真空泵组主要用于对已有的腔室进行抽真空。系统前级泵为油泵，移动方便。系统主要由三部分组成，主要包括前级油泵、分子泵以及真空测量显示单元；进口分子泵抽速：>280L/s(N2), >300L/s(H2):极限真空：<8E-6Pa(ISO接口)/5E-8Pa(CF接口)，采用风冷系列；进口前级油泵：>15m3/h,极限真空度：<3E-lPa；系统包括相应的进口真空规和真空计；通过KF接头、卡箍和波纹管等实现泵组的连接；配置CF100转CF63的法兰转接头，1米长CF63波纹管。
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