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真空泵组
发布时间:2019-2-15

简介:客户某研究机构,该真空泵组主要用于对已有的腔室进行抽真空。系统前级泵为油泵,移动方便。系统主要由三部分组成,主要包括前级油泵、分子泵以及真空测量显示单元;进口分子泵抽速:>280L/s(N2), >300L/s(H2):极限真空:<8E-6Pa(ISO接口)/5E-8Pa(CF接口),采用风冷系列;进口前级油泵:>15m3/h,极限真空度:<3E-lPa;系统包括相应的进口真空规和真空计;通过KF接头、卡箍和波纹管等实现泵组的连接;配置CF100CF63的法兰转接头,1米长CF63波纹管。

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