简介：客户研究机构，用于真空加热，腔体材料采用 304 不锈加工，腔体包含接口为： 1 个 1/2卡套接口（针阀）， 2个1/4VCR接口（针阀），一个CF63观察窗（顶部），一个CF63电极法兰/盲板（底部），腔体内部空间尺寸Φ63*90mm，加热：采用微型陶瓷加热片，来实现加热 200℃。波纹管密封阀选用swagelok不锈钢波纹管密封阀门，该阀门在315°C 下耐压27.5Bar。并且按照SCS-00020 进行氦气泄漏测试，漏率4E-9stdcm3/s。