半导体行业

半导体行业生产基于半导体材料的微电子元件和组件。自数字时代以来，许多行业及其各自产品领域对微芯片的需求大幅增加。为了满足这一趋势，大型芯片制造商正在工艺窗口中实施更强大和小型化的芯片架构，有时达到技术可行性的极限。除了高科技生产工艺外，在工艺和供应链中的洁净室条件下不断保持质量和清洁度是另一个重大挑战。成熟的制造工艺（如EUV和DUV）以及具有前瞻性的技术（如High-NA）可满足工艺真空和所用真空零件和组件清洁度的不同要求。

VACOM配备了各种真空技术产品，根据VACOM纯度等级^®使用EUV程序的公司的主要供应商。高精度制造的真空组件和部件符合行业对薄膜和颗粒表面清洁度以及低除气率的要求。

我们为您提供：

·         特殊组件以及KF和ISO组件

·         电气,光学的和机械实现

·         真空测量技术适用于所有压力范围

·         真空阀以及真空兼容螺钉

·         清洁服务根据您的规格

亮点产品：