 n 从 ATM 到 UHV 的 宽范围压力测量
n 可在高达 5X10-3mbar的高压下进行气体分析·
n 氦气泄漏检测，无需额外仪器
n 探测气体成分
(分压n 从 ATM 到 UHV 的 宽范围压力测量
n 可在高达 5X10-3的高压下进行气体分析·
n 氦气泄漏检测，无需额外仪器
n 探测气体成分
(分压 H2, H2O, N2, O₂, CO₂ 等.)
n 高达 200 ms 的高采样率
频至0~300 amu
n 氢气检测无干扰（无零爆炸效应）
n 重碳氢化合物检测（真空质量监测）
H2, H2O, N2, O₂, CO₂ 等.)
n 高达 200 ms 的高采样率
频至0~300 amu
n 氢气检测无干扰（无零爆炸效应）
n 重碳氢化合物检测（真空质量监测）
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