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VACOM 带全压测量残气分析仪
发布时间:2022-2-18

n  ATM UHV 宽范围压力测量

n  可在高达 5X10-3mbar的高压下进行气体分析·

n  氦气泄漏检测,无需额外仪器

n  探测气体成分

 (分压n  ATM UHV 宽范围压力测量

n  可在高达 5X10-3的高压下进行气体分析·

n  氦气泄漏检测,无需额外仪器

n  探测气体成分

 (分压 H2, H2O, N2, O, CO .)

n  高达 200 ms 的高采样率

0~300 amu

n  氢气检测无干扰(无零爆炸效应)

n  碳氢化合物检测(真空质量监测)


 H2, H2O, N2, O, CO .)

n  高达 200 ms 的高采样率

0~300 amu

n  氢气检测无干扰(无零爆炸效应)

n  碳氢化合物检测(真空质量监测)



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